スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体

摘要

砥粒と添加剤と水とを含有する研磨液であって、砥粒が、４価金属元素の水酸化物を含み、且つ、該砥粒の含有量を１．０質量％に調整した水分散液において波長４００ｎｍの光に対して吸光度１．００以上１．５０未満を与えるものである、研磨液。