| 摘要 |
本発明は、透明電極層がパターニングされた際にも、パターンが視認され難い透明電極付き基板およびその製造方法の提供を目的とする。本発明の透明電極付き基板は、透明フィルムの少なくとも一方の面に、第一誘電体層；第二誘電体層；第三誘電体層；およびパターニングされた透明電極層、をこの順に有する。第一誘電体層は、ＳｉＯｘを主成分とするシリコン酸化物層であり、第二誘電体層は金属の酸化物を主成分とする金属酸化物層であり、第三誘電体層は、ＳｉＯｙを主成分とするシリコン酸化物層である。透明電極層は、インジウム・スズ複合酸化物を主成分とする導電性金属酸化物層である。第一誘電体層の屈折率ｎ１、前記第二誘電体層の屈折率ｎ２、および前記第三誘電体層の屈折率ｎ３は、ｎ３＜ｎ１＜ｎ２の関係を満たす。各誘電体層および透明電極層は、所定範囲内の膜厚および屈折率を有することが好ましい。【選択図】図１ |
