| 摘要 |
より多目的な方法において、より素早い反応時間でより小さい空間要件で、より高い真空を発生する選択肢を提供するために、本発明は、駆動ステージの一次エジェクタと、前記一次エジェクタと並列に接続された、ブースタステージにわたって真空を同時に発生するためのブースタエジェクタとを備えるエジェクタシステムを提供する。前記ブースタエジェクタは、前記駆動ステージの前記一次エジェクタにおいてよりも前記ブースタステージにおいて、より低い圧力に真空を発生するように構成され、前記ブースタステージおよび前記駆動ステージは、排気される共通容積に接続され、弁が、排気される容積の圧力が駆動ステージで発生され得る最小圧力未満に低下するとき、駆動ステージと排気される容積との間の接続を閉じるために設けられる。 |
