摘要 |
Винахід належить до технологій виготовлення світловипромінюючих елементів на основі кремнієвої матриці з макропорами і може бути використаний при розробці джерел світла для кремнієвої мікрофотоніки та інтегральних кремнієвих нанофотонних схем. Світловипромінююча структура створена на основі кремнієвої матриці з макропорами у вигляді паралельно розташованих циліндрів, на поверхні яких міститься світловипромінюючий шар нанокристалів. Згідно з винаходом, світловипромінюючий шар виконаний з нанокристалів CdS в поліетиленіміні, який нанесено на додатковий шар SiOтовщиною 10÷20 нм. Винахід забезпечує збільшення квантового виходу фотолюмінесценції світловипромінюючої структури шляхом зниження безвипромінювальної рекомбінації світловипромінюючих елементів при підвищенні міцності структури та зниженні деградації поверхні. |