| 发明名称 |
Einrichtung zur Einstellung der Raumlage von in einer Vakuumkammer zu behandelnden Teilen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH435908(A) |
申请公布日期 |
1967.05.15 |
| 申请号 |
CH19650018168 |
申请日期 |
1965.12.31 |
| 申请人 |
BALZERS PATENT- UND LIZENZ-ANSTALT |
发明人 |
BOEHLER,SIEGFRIED |
| 分类号 |
B01J3/00;B23Q1/54;B25J7/00;C23C14/50;G01N1/28;G21F7/06;H01L21/68 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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