具有中间腔室的带电粒子微影系统

摘要

用于将图型转移到目标的表面上之带电粒子微影系统包含：主要真空腔室；源腔室与中间腔室，二者均位在主要真空腔室中；束产生器，其用于产生带电粒子束，束产生器是位在源腔室中；及，第一隙缝阵列元件，其用于产生来自该束的复数个带电粒子射束，第一隙缝阵列元件是位在中间腔室中。该种系统是适用于维持在主要真空腔室中的第一压力、在中间腔室中的第二压力、以及在源腔室中的第三压力，且其中第一压力是低于周围压力，第二压力是低于第一压力，且第三压力是低于第二压力。

主权项

一种带电粒子微影系统，其用于将图型转移到目标的表面上，该种系统包含：主要真空腔室；源腔室与中间腔室，二者均位在该主要真空腔室中；束产生器，其用于产生带电粒子束，该束产生器是位在该源腔室中；第一隙缝阵列元件，其用于产生来自该束的复数个带电粒子射束，该第一隙缝阵列元件分开该主要腔室与该中间腔室以允许在该等两腔室间的较高压力差；其中该种系统是适用于维持在该主要真空腔室中的第一压力、在该中间腔室中的第二压力、及在该源腔室中的第三压力，且其中该第一压力是低于周围压力，该第二压力是低于该第一压力，且该第三压力是低于该第二压力。