一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备

摘要

明提供了一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备，藉由在测温装置的绝缘管内部设置热电极固定装置，将所述两根热电极与所述绝缘管保持相对固定，从而使得测量端与待测温物体的表面接触良好，避免了日常设备维护时，热电极由于维护过程中的拖拽与绝缘管发生滑移，从而影响测量结果的现象，保证了测量结果的稳定性和准确性，同时在绝缘管下方设置一弹簧，藉由弹簧的弹力使得测量端与被测物体接触良好的同时，避免了测温装置与被测温物体的刚性接触导致的被测温物体破裂。

主权项

一种实现稳定测温的测温装置，包含两根材料不同的热电极，以及所述热电极的结合端，其中所述热电极外环绕设置一绝缘管，所述结合端自所述绝缘管内露出而作为测量端，用以与待测物的表面接触，所述绝缘管内设置固定装置，用以将两根热电极与所述绝缘管固定连接。