在干涉编码系统中执行非谐循环错误补偿的方法、装置及计算机程式产品，以及微影系统

摘要

在干涉编码系统中执行非谐循环错误补偿的方法，包括：在第一光束被编码器尺规绕射之后，根据第一光束和参考光束的组合，取得干涉系统之侦测器的干涉讯号；根据修正干涉讯号的一非谐循环错误，藉由电子处理器，取得误差补偿讯号；以及根据干涉讯号和误差补偿讯号，输出编码器尺规与干涉系统之光学组件之间相对位置变化的资讯。

主权项

一种在干涉编码系统中执行非谐循环错误补偿的方法，上述方法包括：在一第一光束被一编码器尺规绕射之后，根据上述第一光束和一参考光束的组合，取得一干涉系统之一侦测器的一干涉讯号；根据修正上述干涉讯号的一非谐循环错误，藉由一电子处理器，取得一误差补偿讯号；以及根据上述干涉讯号和上述误差补偿讯号，输出上述编码器尺规与上述干涉系统之一光学组件之间相对位置变化的资讯。