| 摘要 |
<p>본 발명은 웨이퍼 사이의 간격이 넓게 삽입되는 광폭 카세트에서 다수개의 기판을 순차적으로 기판 사이의 간격이 좁게 삽입되는 소폭 카세트에 정확하게 옮겨 삽입하거나, 반대로 소폭 카세트에 삽입되어 있는 다수개의 기판을 광폭 카세트에 옮겨 삽입하는 웨이퍼 간격 변경장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 웨이퍼 간격 변경장치는, 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼가 일정한 제1 피치로 이격되어 적층되는 광폭 카세트가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 광폭카세트 적재부; 상기 광폭 카세트 적재부에 일정 간격 이격되어 설치되며, 상하 방향으로 다수장의 웨이퍼가 일정한 제2 피치로 이격되어 적층되는 소폭 카세트가 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 소폭카세트 적재부; 상기 광폭카세트 적재부와 소폭카세트 적재부 사이에 설치되며, 상기 광폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼를 상기 소폭 카세트로 순차적으로 이송하거나 상기 소폭 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼들을 상기 광폭 카세트로 순차적으로 이송하는 웨이퍼 이송부;를 포함한다.</p> |
