发明名称 |
端末效应器与工件操作系统 |
摘要 |
旋转式端末效应器被揭露,其用以高速操作工件,其中工件例如为太阳能电池。旋转式端末效应器可无限制地旋转。旋转式端末效应器具有可旋转夹具支架,其能够支持多个夹具,夹具可安排成任何配置,例如为4 x 1的线性阵列。每一夹具和抽吸系统相连通,其中,在一些实施例中,每一夹具可以选择性地启用或停用。亦提供多个电性元件,例如为邻近感测器,其被安装在可旋转夹具支架。在另一实施例中,使用了具有多个侧面的端末效应器,每一侧面包含多个夹具。
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申请公布号 |
TWI516346 |
申请公布日期 |
2016.01.11 |
申请号 |
TW102115799 |
申请日期 |
2013.05.03 |
申请人 |
瓦里安半导体设备公司 |
发明人 |
夏勒 杰森;宝佩特 罗伯特 布然特 |
分类号 |
B25J9/08(2006.01);B25J18/04(2006.01);H01L21/683(2006.01) |
主分类号 |
B25J9/08(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 |
主权项 |
一种端末效应器,应用于工件操作系统,所述端末效应器包括:多个夹具,每一所述夹具与对应的流体导管相互连通,所述流体导管适于作为抽吸系统的介面;可旋转夹具支架,支撑所述夹具;旋转管套节,包括第一固定部以及旋转部,所述第一固定部包括多个固定连接器,所述旋转部具有相对应数量的旋转连接器,其中每一所述固定连接器和对应的所述旋转连接器经由对应的导管相连通于所述旋转管套节中,其中每一所述旋转连接器附接至对应的流体导管且其中所述旋转部为固定于所述可旋转夹具支架;滑环,包括固定外部部分及旋转内部部分,第一导线连接至所述固定外部部分,第二导线则由所述旋转内部部分伸出,其中所述第一导线和所述第二导线经由所述滑环而相互连通;旋转致动器,配置的位置使得所述滑环位于所述旋转致动器及所述旋转管套节之间;以及轴,耦合所述旋转致动器与所述旋转部,其中所述滑环以及所述旋转管套节各包括内部孔,使所述轴通过所述内部孔,且所述滑环以及所述旋转管套节位于所述旋转致动器以及所述可旋转夹具支架之间。
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地址 |
美国 |