| 发明名称 | 锡镓锌氧化物奈米粉体与其制法、锡镓锌氧化物靶材之制法 | ||
| 摘要 | 明提供一种锡镓锌氧化物奈米粉体与其制法、锡镓锌氧化物靶材之制法。锡镓锌氧化物奈米粉体具有下述化学式(I)：x(Ga2O3)-y(SnO2)-z(ZnO) | ||
| 申请公布号 | TWI516461 | 申请公布日期 | 2016.01.11 |
| 申请号 | TW101143195 | 申请日期 | 2012.11.20 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 周力行;周育贤;杨智超 |
| 分类号 | C04B35/453(2006.01);C04B35/622(2006.01);C23C14/34(2006.01) | 主分类号 | C04B35/453(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
| 主权项 | 一种锡镓锌氧化物(TGZO)奈米粉体，其具有下述化学式(I)：x(Ga2O3)-y(SnO2)-z(ZnO)其中x：y：z=0.5：1：2至0.5：3：7，其中该锡镓锌氧化物(TGZO)奈米粉体更包括一微量元素，该微量元素包括硼(B)，该微量元素之添加量为100ppm至1000ppm。 | ||
| 地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||