摘要 |
<p>본 발명은 제1반응소결 탄화규소체를 제공하는 단계; 상기 제1반응소결 탄화규소체의 일정 영역에 다공성 소재를 위치시키는 단계; 및 상기 제1반응소결 탄화규소체 및 상기 다공성 소재에 일정 압력과 일정 온도를 제공하는 단계를 포함하는 반응소결 탄화규소체의 제조방법 및 이에 따른 반응소결 탄화규소체에 관한 것으로, 반응소결 탄화규소체 내부에 존재하던 잔류 Si를 효과적으로 제거할 수 있어서 기존 공정에 비하여 고온에서의 강도 등 기계적 특성을 뚜렷히 개선시킬 수 있다.</p> |