宽动态范围像素单元、其制造方法及其构成的图像感测器

摘要

明提出了一种宽动态范围像素单元、其制造方法及其构成的图像感测器，该像素单元包括在同一衬底上形成的光电二极体、传输电晶体、浮置扩散节点、重设电晶体、源极随耦电晶体和行选通电晶体，还包括与浮置扩散节点相连的PINNED结构。本发明的像素单元透过控制PINNED结构的耗尽电压来实现图像感测器非线性灵敏度。本发明的制造方法工艺简单，与现有的CMOS制造工艺相容。本发明的图像感测器采用具有PINNED结构的像素单元组成像素阵列，实现了图像感测器的非线性灵敏度，不但能够提高图像感测器对过曝区域的控制，还能提高暗态区域的可视性，从而提高图像感测器的动态范围。

主权项

一种宽动态范围的像素单元，包括在同一衬底上形成的光电二极体、传输电晶体、浮置扩散节点、PINNED结构，所述光电二极体和浮置扩散节点透过所述传输电晶体分隔，所述浮置扩散节点与所述PINNED结构相连，所述浮置扩散节点的重置电压大于所述PINNED结构的耗尽电压。