敏辐射线性树脂组成物、聚合物及化合物

摘要

明有关一种敏辐射线性树脂组成物，其含有[A]具有源自以下述式(1)表示之化合物之构造单位(I)，及源自以下述式(2)表示之化合物之构造单位(II)之聚合物，[B]酸产生体，及[C]有机溶剂。式(1)中，R1为与构成内酯环之碳原子一起形成碳数3~8之环构造，R2为氟原子、羟基或碳数1~20之有机基，a为0~6之整数，a为2以上时，复数个R2可相同亦可不同，且可相互键结形成环构造，但，R1及R2之至少一个基具有杂原子或卤素原子。

主权项

一种敏辐射线性树脂组成物，其含有：[A]具有源自以下述式(1)表示之化合物之构造单位(I)，及源自以下述式(2)表示之化合物之构造单位(II)之聚合物；[B]酸产生剂；及[C]有机溶剂，且式(1)中之R1及R2之至少一个基具有氧原子，或者式(1)中之R1为骨架链中含有由-CO-、-COO-、-OCO-、-O-、-NR-、-S-、-SO-、及-SO2-所组成群组所选出之至少一种(但，R为氢原子或碳数1~20之有机基)之(a+2)价之链状烃基；

(式(1)中，R1为与构成内酯环之碳原子一起形成碳数3~8之环构造之(a+2)价之有机基，R2为氟原子、羟基或碳数1~20之有机基，a为0~6之整数，a为2以上时，复数R2可相同亦可不同，且可相互键结形成环构造，但，R1及
R2之至少一个基具有杂原子或卤素原子，R3为氢原子或甲基，R4为氢原子、氟原子、或碳数1~6之烷基，R5为氢原子，或亦可与R4键结，并与该等所键结之碳原子一起形成碳数3~8之环烷二基，式(2)中，R6为氢原子或甲基，R7、R8及R9各独立为碳数1~6之烷基，该烷基之氢原子可经取代，又，R7及R8可相互键结，并与该等所键结之碳原子一起形成环构造)。