液体处理装置

摘要

明之课题，系于药液处理时，或是于顶板洗净时，防止附着在顶板的药液或洗净液以不理想的样态飞散。
本发明解决上述课题之方式，系提供一种液体处理装置，其具有：基板保持部(21)，水平保持基板(W)并加以旋转；处理液喷嘴(82)，对基板保持部所保持之基板供给处理液；杯体(40)，设于基板保持部所保持之基板之周缘的外方，承接处理液喷嘴供给至基板过后的处理液；顶板(32)，从上方覆盖基板保持部所保持之基板；顶板旋转驱动机构，旋转顶板；以及液体承接构件(130)，具有包围顶板之周缘的环状液体承接空间(132)。

主权项

一种液体处理装置，具有：基板保持部，水平保持基板并加以旋转；处理液喷嘴，对该基板保持部所保持之基板供给处理液；液体承接杯体，设于该基板保持部所保持之基板之周缘的外方，承接该处理液喷嘴供给至基板后之处理液；顶板，从上方覆盖该基板保持部所保持之基板；顶板旋转驱动机构，旋转该顶板；以及液体承接构件，具有包围该顶板之周缘的环状之液体承接空间；该液体承接空间，于其内周端具备朝向该顶板之周缘开口的开口部，并透过此开口部承接自该顶板飞散的液体，该液体承接构件具备形成为该液体承接空间的内周端之朝上方延伸的边缘构件，该顶板之周缘比该边缘构件位于更靠半径方向外侧之位置。