敏辐射线性树脂组成物、抗蚀图型之形成方法、聚合物及化合物

摘要

明系关于含有[A]具有下述式(1)所示结构单位(I)之聚合物、及[B]敏辐射线性酸产生体的敏辐射线性树脂组成物。下述式(1)中RC为碳数4～30的(n+1)价脂肪族多环式烃基者为佳。上述结构单位(I)为下述式(1-1)所示结构单位(I-1)者为佳。进一步含有[C]比上述[A]聚合物之氟原子含有率小之聚合物，该[C]聚合物具有酸解离性基者为佳。

主权项

一种敏辐射线性树脂组成物，其特征为含有〔A〕具有下述式(1)所示结构单位(I)，与选自由下述式(2)所示结构单位(II)及下述式(3)所示结构单位(III)所成群之至少一种结构单位之聚合物、〔B〕敏辐射线性酸产生体、及〔C〕具有酸解离性基，且氟原子含有率小于上述〔A〕聚合物之聚合物；

式(1)中，R为氢原子、甲基或三氟甲基；X为单键或2价连结基；RC为碳数3~30的(n+1)价脂肪族环状烃基；该脂肪族环状烃基所具有的氢原子的一部份或全部可被取代；Rf为具有1~10个氟原子之碳数1~30的1价链状烃基或具有1~10个氟原子之碳数3~30的1价脂肪族环状烃基；n为1~3的整数；但，n为2或3时，复数的Rf可相同或相异；

式(2)及(3)中，R为氢原子、甲基或三氟甲基；式(2)中，G为单键、氧原子、硫原子、-CO-O-、-SO2-O-NH-、-CO-NH-或-O-CO-NH-；R1为具有至少1个氟原子之碳数1~6的1价链状烃基或具有至少1个氟原子之碳数4~20的1价脂肪族环状烃基；式(3)中，R2为碳数1~20的(m+1)价烃基，亦包括于R2的R3侧的末端上结合氧原子、硫原子、-NR’-、羰基、-CO-O-或-CO-NH-之结构者；R’为氢原子或1价有机基；R3为单键、碳数1~10的2价链状烃基或碳数4~20的2价脂肪族环状烃基；X2为具有至少1个氟原子之碳数1~20的2价链状烃基；A为氧原子、-NR”-、-CO-O-*或-SO2-O-*；R”为氢原子或1价有机基；*表示于R4所结合之键结部位；R4为氢原子或1价有机基；m为1~3的整数；但，m为2或3时，复数的R3、X2、A及R4各可为相同或相异。