具有用于控制显示元件之悬置部分之位置的静电致动总成之设备以及用于形成静电致动器之方法

摘要

明提供用于给一快门总成提供相对较薄且较不硬的柔性梁之系统、方法及设备。在自其上方形成该快门总成之一牺牲模具释放该快门总成之前在该快门总成上方沈积并图案化一保护涂层。因为该等柔性梁之一些主表面与该牺牲模具接触，所以此等主表面并未涂布有该保护涂层。因此，当最终释放该快门总成时，该等所得柔性梁相对较薄且较不硬，从而提供用以操作该快门总成之一致动电压之一减小。在一些例项中，该保护涂层系在释放之前图案化为不连续段。

主权项

一种具有用于控制一显示元件之一悬置部分之位置的静电致动总成之设备，该静电致动总成包括：两个悬置相对梁，其等包含用于支撑该悬置部分之一第一梁及与该第一梁相对之一第二梁，该两个悬置相对梁之各者具有两个主表面且一起形成一静电致动器；及一保护涂层，其仅安置在该两个悬置相对梁之至少一者之一主表面之部分上方，其中该保护涂层经图案化以形成复数个凸起段。