钴系膜形成方法、钴系膜形成材料以及新颖化合物

摘要

一种熔点低、在40℃前后成为液体、恐怕会引起在配管中途之固化闭塞之可能性变小、可以安定地供应原料、容易形成高品质之钴系膜的技术。
成为用以形成钴系膜之材料，具有双(N,N’-二异丙基二乙基甲酮脒酸酯)钴。

主权项

一种钴系膜形成方法，具有：将双(N,N’-二异丙基二乙基甲酮脒酸酯)钴输送至成膜室之输送制程；以及，藉由前述输送至成膜室之双(N,N’-二异丙基二乙基甲酮脒酸酯)钴之分解而在基板上来形成钴系膜之成膜制程，其中，前述之成膜制程系至少具有第1成膜制程和第2成膜制程，前述之第2成膜制程系前述第1成膜制程之后面之制程，前述第1成膜制程之前述成膜室之内部压力系高于前述第2成膜制程之前述成膜室之内部压力，在前述之第1成膜制程，于前述之成膜室，至少供应NH3及/或NH3生成化合物，于前述之成膜室，实质上无供应H2，在前述之第2成膜制程，于前述之成膜室，供应NH3及/或NH3生成化合物和H2，(前述之H2)/(前述之NH3及/或NH3生成化合物)=0.0001~2(莫尔数比)。