| 发明名称 |
烷氧基甲矽烷基胺化合物及其应用 |
| 摘要 |
描述具有以下式A和B的烷氧基甲矽烷基胺前驱物：
其中R1和R4系独立地选自线性或分支的C1至C10烷基、C3至C12烯基、C3至C12炔基、C4至C10环状烷基和C6至C10芳基，而且其中R2、R3、R4、R5和R6系独立地选自由氢、线性或分支的C1至C10烷基、C2至C12烯基、C2至C12炔基、C4至C10环状烷基、C6至C10芳基及线性或分支的C1至C10烷氧基所组成的群组。本文也有描述使用至少一具有本文所述的式A及/或B的前驱物之沉积方法。
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| 申请公布号 |
TWI516498 |
申请公布日期 |
2016.01.11 |
| 申请号 |
TW102145220 |
申请日期 |
2013.12.09 |
| 申请人 |
气体产品及化学品股份公司 |
发明人 |
萧满超;皮尔斯坦 罗纳多 马丁;何 理查;史宾西 丹尼尔 Ｐ;雷新建 |
| 分类号 |
C07F7/10(2006.01);C23C16/44(2006.01);H01L21/762(2006.01) |
主分类号 |
C07F7/10(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈展俊;林圣富 |
| 主权项 |
一种前驱物，其包含具有至少一以下式A或B的化合物：
其中R1和R4系各自独立地选自线性或分支的C1至C10烷基、C3至C12烯基、C3至C12炔基、C4至C10环状烷基和C6至C10芳基，而且其中R2、R3、R5和R6系各自独立地选自由氢、线性或分支的C1至C10烷基、C2至C12烯基、C2至C12炔基、C4至C10环状烷基、C6至C10芳基及线性或分支的C1至C10烷氧基所组成的群组，并且符合以下条件：该至少一化合物不是选自((EtO)2MeSi)2NH,((异丙基)2MeSi)2NH,((MeO)Me2Si)2NH,((EtO)Me2Si)2NH,((苯基氧)Me2Si)2NH，及((苯基氧)Me2Si)2Nme所组成的群组。
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| 地址 |
美国 |
