调变之多频处理方法

摘要

明提供一种处理系统之操作方法，该处理系统具有用以接收气体之空间及用以在空间内产生电磁场之电磁场产生部。该方法包含：提供气体至空间内；及以一驱动电位操作电磁场产生部，以在空间内产生电磁场，而将气体之至少一部分转换成电浆。作为时间之函数之驱动电位系基于第一电位函数部分及第二电位函数部分，第一电位函数部分包含具有第一振幅及第一频率之第一连续周期性部分；第二电位函数部分则包含具有最大振幅部分、最小振幅部分、及工作循环之第二周期性部分。最大振幅部分比最小振幅部分具有更大之振幅。工作循环为最大振幅部分之持续时间对最大振幅部分之持续时间及最小振幅部分之持续时间之总和的比率。第二周期性部分在最大振幅部分期间另外具有第二频率。第二周期性部分之振幅调变被锁相至第一连续周期性部分。

主权项

一种处理系统之操作方法，该处理系统具有用以接收气体之空间、电极部分及RF驱动器，该RF驱动器系用以提供驱动讯号至该电极部分，该方法包含：提供气体至该空间内；提供该驱动讯号至该电极部分，该驱动讯号系基于第一讯号部分及第二讯号部分；及由该气体在该空间中产生电浆，其中该电浆具有电浆鞘层，其中该电浆鞘层具有电浆鞘层电位，其中该电浆鞘层电位系基于该驱动讯号，其中作为时间之函数之该电浆鞘层电位系基于第一电浆鞘层电位函数部分及第二电浆鞘层电位函数部分，其中该第一电浆鞘层电位函数部分包含连续正弦部分，该连续正弦部分具有第一振幅及第一频率，其中该第二电浆鞘层电位函数部分包含正弦部分，该正弦部分具有最大振幅间隔、最小振幅间隔及工作循环，其中该最大振幅间隔具有第二频率、第一持续时间、及第一间隔振幅，其中该最小振幅间隔具有第二持续时间及第二间隔振幅，其中该第一间隔振幅大于该第二间隔振幅，其中该工作循环为该第一持续时间对该第一持续时间及该第二持续时间之总和的比率，其中该第二电浆鞘层电位函数部分系在频率等于该第一频率之谐波(harmonic)下进行振幅调变，且其中该提供该驱动讯号至该电极部分之步骤包含：提供该驱动讯号至该电极，俾使该第一间隔振幅大于该第二间隔振幅。