图案评估方法及图案评估装置

摘要

在晶圆面内对电路图案之重叠进行严密地推定，必须使用专用图案以外之通常之电路图案来进行重叠评估，但并非在任何场所皆可高精度且稳定地测量偏差量，故本发明之课题系提供一种评估点之决定或测量方法。

主权项

一种图案评估方法，其特征在于：其系使用藉由扫描带电粒子显微镜拍摄有试料上之评估点之图像，而评估藉由第一制造程序于试料上生成之第一图案、与藉由第二制造程序于上述试料上生成之第二图案之重叠位置者，且包含如下步骤：输入图案之布局资讯与制造程序资讯；基于上述布局资讯与制造程序资讯，将上述布局资讯中之每个图案边缘为哪一制造程序所生成之边缘作为属性资讯而加以赋予；及基于上述属性资讯，以视野内含有藉由上述第一制造程序生成之边缘与藉由上述第二制造程序生成之边缘为条件，决定一个或复数个评估点；且该评估点系以上述第一图案之边缘与上述第二图案之边缘在评估之方向不发生隐藏之方式决定。