带电粒子侦测系统及多子波束检验系统

摘要

带电粒子侦测系统包含多个侦测元件与邻近该侦测元件的多孔隙板。带电粒子子波束能穿过该多孔隙板而入射至该侦测元件上。多于一个的多孔隙板系能设以形成邻近该侦测器的多孔隙板堆叠体。对于穿过该板孔隙的多个带电粒子子波束而言，供应给该多孔隙板的适当电位能具有能量过滤特性。

主权项

一种带电粒子侦测系统，包含：第一侦测器，具有多侦测元件阵列以侦测带电粒子；第一孔隙板，具有第一多孔隙阵列以让带电粒子穿过且系配置于离该第一侦测器第一距离的位置上；第二孔隙板，具有第二多孔隙阵列以让带电粒子穿过且系配置于离该第一侦测器第二距离的位置上，该第二距离大于该第一距离；以及一电压供应源，供应电位给该第一侦测器、该第一孔隙板与第二孔隙板；其中该第一孔隙板的孔隙、该第二孔隙板的孔隙与该第一侦测器的该侦测元件实质上系彼此对齐，使得多个带电粒子子波束之各者能穿过该第一孔隙板的一孔隙与第二孔隙板的一孔隙而入射至该第一侦测器的一侦测元件上；特征在于，该电位系供应给该第一侦测器及该第一孔隙板，使得该子波束中动能低于能量门槛值的带电粒子无法穿过该第一孔隙板的该第一多孔隙阵列且无法入射至该侦测元件上。