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압력 센서 시스템은 기체 또는 액체의 압력을 감지할 수 있다. 압력 센서 시스템은, 기체 또는 액체를 위한 진입 포트를 갖는 하우징과, 하우징 내의 압력 센서와, 진입 포트와 압력 센서 사이에 위치된 배플을 포함할 수 있다. 배플은, 진입 포트에 진입하는 기체 또는 액체를 받아들이도록 지향된 하나 이상의 유입구와, 받아들인 기체 또는 액체를 압력 센서에 전달하도록 지향된 하나 이상의 유출구와, 기체 또는 액체가 하나 이상의 유출구를 통과하는 이외에는 배플에서 벗어나는 것을 방지하는 하나 이상의 실링된 흐름 채널을 가질 수 있다. 유출구의 적어도 하나의 유출구가 압력 센서 상의 1mm 이하의 위치 내에 위치될 수 있다. 압력 센서와 배플은 미세전자기계 시스템(MEMS) 기술을 사용하여 일련의 층을 침착, 패터닝, 에칭, 웨이퍼 본딩, 및/또는 웨이퍼 박막화하는 프로세스 동안에 동시에 구성될 수 있다. |
