| 摘要 |
<p>미세 피치의 수직형 프로브 모듈을 용이하게 조립 및 제작할 수 있는 프로브 모듈의 제조 방법이 개시된다. 프로브 모듈의 제조 방법은, 홀더 및 홀더에 한 줄로 정렬 부착된 복수의 프로브를 포함하는 프로브-홀더 유닛을 복수개 제조하는 단계와, 제1 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 줄씩 순서대로 끼워 제1 가이드와 복수의 프로브-홀더 유닛을 조립하는 단계와, 제2 가이드에 형성된 복수의 관통 홀에 복수의 프로브를 한 번에 끼워 복수의 프로브-홀더 유닛과 제2 가이드를 조립하는 단계와, 홀더를 제거하는 단계를 포함한다.</p> |
