HANDLE SUBSTRATE FOR COMPOSITE SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR

摘要

핸들 기판(1)은, 소결 조제로서 적어도 마그네슘을 함유하는 투광성 알루미나 세라믹스에 의해 형성되어 있다. 핸들 기판(1)의 도너 기판(5)에 대한 접합면(1a)에서의 마그네슘 농도가, 핸들 기판(1)의 평균 마그네슘 농도의 절반 이하이다.