| 摘要 |
본 발명은 전극과 히터 패턴을 보호하면서 알루미늄 열확산판의 역할을 세라믹 재료로 대체하는 히터가 장착된 캡형 정전척 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시형태에 따른 히터가 장착된 캡형 정전척는 기판 처리 장치의 내부에 구비되어 기판이 안치되는 정전척으로서, 하면의 중심영역에 하부방향으로 개구되는 포켓홈부를 형성하도록 하면의 가장자리에서 하부방향으로 돌출되는 차단링부가 형성되고, 상기 하면의 포켓홈부에 전극이 인쇄된 유전체와; 상기 전극을 덮으면서 제 1 접합층을 매개로 상기 유전체의 포켓홈부 내부에 접합되고, 하면에는 히터 패턴이 형성된 상부 절연체와; 상기 유전체의 포켓홈부 내부에서 상기 상부 절연체의 하면에 제 2 접합층을 매개로 접합되는 하부 절연체와; 본딩층을 매개로 상기 하부 절연체 및 상기 차단링부의 하면에 접합되는 베이스 바디를 포함한다. |
