| 摘要 |
다결정 실리콘 잉곳을 고정 지립 방식으로 슬라이스하여 얻어지는 슬라이스 편을 이용하여 얻어진 저반사율이며 광택 불균일이 적은 태양전지용 실리콘 웨이퍼 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다. 고정 지립 와이어 쏘우로 슬라이스된 다결정 실리콘 슬라이스 편을 불산, 질산 및 황산으로 이루어지는 혼산을 포함하는 에칭액으로 에칭하는 태양전지용 실리콘 웨이퍼의 제조 방법이며, 혼산의 조성 범위가, 조성을 중량%로 나타내는 삼각도에 있어서, 불산이 2.82 중량%, 질산이 0.18 중량%, 황산이 97 중량%인 점 A와, 불산이 0.18 중량%, 질산이 2.82 중량%, 황산이 97 중량%인 점 B와, 불산이 8.47 중량%, 질산이 0.53 중량%, 황산이 91 중량%인 점 C와, 불산이 0.53 중량%, 질산이 8.47 중량%, 황산이 91 중량%인 점 D를 이 순서로 연결하는 4개의 선분으로 둘러싸인 영역 내에 있고, 에칭액의 물의 농도가 0 ~ 10.5 중량%이다. |
