| 摘要 |
<p>레이저 광이 상대적으로 주사되면서 상면측으로부터 주사되는 피처리체를 상기 피처리체의 하면측의 복수 개소에서 지지하는 복수의 지지부(4)를 설치하고, 복수의 지지부(4)는 상기 라인빔 레이저 광(150)을 상대적인 주사를 하면서 조사하고 있을 때에, 각각이 개별적으로 상기 지지와 상기 지지 해제의 스위칭 동작을 가능하도록 구성하고, 라인빔 레이저 광(150)의 상대적인 주사에 따라 레이저 광의 조사 영역(110)을 포함하는 피처리체의 일부 영역(111)에 대한 지지를 순차적으로 해제함과 아울러, 조사 영역(110)의 이동에 따라 라인빔 레이저 광(150)의 조사가 완료되어 상기 지지가 해제되어 있는 일부 영역(112)에 대하여 순차적으로 재지지함으로써, 레이저 어닐 처리할 때에 피처리체 이면측에 설치된 푸셔핀이나 흡착홈 등의 영향을 없애서 균일한 어닐 처리를 가능하게 한다.</p> |
