| 摘要 |
450 mm 와 같은 웨이퍼들을 위한, 큰 웨이퍼 용기들을 위해 밀폐를 제공하는 래치 메카니즘을 가지는 웨이퍼 용기는, 중심의 회전가능한 캠 플레이트를 회전시키기 위한 감소된 토크 요구조건들을 가지는 안전한 도어 폐쇄 및 래칭을 달성한다. 다양한 실시예들에 있어서, 회전가능한 캠이 있는 플레이트에 형성된 캐밍 슬롯은 아치형이고 래치 암의 기부 단에 부착된, 롤러와 같은, 캠 종동부에 의해 선택적으로 맞물리는 캠 표면들에 반대되는 것에 의해 정의된다. 롤러는 래치 암의 기부 단으로 스냅되는 하나의 축 부분들을 포함할 수 있고 롤러의 양 축상 단들에 지지된다. 래치 암의 기부 단은 갭에 의해 분리되는 평행한 확장들을 포함할 수 있고, 롤러의 축 부분들이 위치로 가게 하여 양 축상 단들에 롤러를 안착시키게 되도록 확장들을 편향시키기 위해 표면들에 가이드를 가질 수 있다. |
