Pyrometriefilter für eine Kammer für einen thermischen Prozess

摘要

Hier beschriebene Ausführungsformen beziehen sich im Allgemeinen auf eine Pyrometrie während einer thermischen Bearbeitung eines Halbleitersubstrats. Insbesondere beziehen sich Ausführungsformen auf einen Pyrometriefilter für eine Kammer für einen thermischen Prozess. In bestimmten Ausführungsformen filtert der Pyrometriefilter selektiv ausgewählte Wellenlängen einer Energie, um eine Pyrometermessung zu verbessern. Der Pyrometriefilter kann verschiedene Geometrien aufweisen, die die Funktionalität des Pyrometriefilters beeinflussen können.