| 摘要 |
본 발명은 실리콘 실리콘의 체적 변화에 의한 전극 열화(deterioration) 현상을 최소화하고 전기적 접촉성을 개선하여 고용량 및 사이클 특성을 확보할 수 있도록 하기 위해 실리콘 나노 입자를 제조하는 방법과, 그에 따라 제조된 나노 입자를 이용하는 음극활물질을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 이를 위해 본 발명에서는, 실리콘 나노 입자를 연속 제조하기 위한 방법으로서, 실란 가스와 운반 가스를 반응기 내로 유입시키는 단계; 상기 반응기에서 상기 실란 가스를 분해하여 실리콘 나노 입자를 얻는 단계; 및 상기 실리콘 나노 입자를 회수하는 단계를 포함하는 실리콘 나노 입자 제조 방법을 제공한다. |
