| 摘要 |
【課題】発電効率と品質を向上できる局部不活性化ヘテロ接合を有する太陽電池構造を提供する。【解決手段】太陽電池構造は、正面と裏面を有する第１導電型の半導体基板１１と、半導体基板の正面に設けられた真性シリコン薄膜１４と、真性シリコン薄膜に設けられた第２導電型のシリコン薄膜１５と、第２導電型のシリコン薄膜に設けられた透明導電酸化物層１６と、透明導電酸化物層に設けられた正面電極パターン１７と、半導体基板の裏面に設けられた裏面不活性化層１２と、裏面不活性化層中に設けられた少なくとも一つの局部開孔領域と、裏面不活性化層に設けられ、局部開孔領域を埋めるとともに、局部開孔領域内に局部裏面電界１０４を形成する裏面接触電極１８とを含む。【選択図】図６ |
