发明名称 SHUTTEER DEVICE OF VERTICAL FURNACE
摘要 <p>(과제) 셔터의 경량화를 가능하게 하면서, 열변형도 억제할 수 있는 종형 열처리로의 셔터 장치를 제공한다. (해결수단) 본 발명은, 노체(11)의 하단에 설치된 개구를 개폐하는 셔터(25)와, 이 셔터(25)를 개폐 구동하는 구동 기구(24)를 포함하고 있는 종형 열처리로(10)에서의 셔터 장치(23)로서, 노체(11)의 중심부에 대응하는 상기 셔터(25)의 부분에, 노체(11)의 내부로부터 멀어지도록 움푹 패여 셔터(25)의 열변형을 억제하는 오목부(33)가 형성되어 있다.</p>
申请公布号 KR101583092(B1) 申请公布日期 2016.01.07
申请号 KR20100055809 申请日期 2010.06.14
申请人 고요 써모시스템 주식회사 发明人 우라사키 요시히코;가사나미 가츠나오
分类号 H01L21/02;H01L21/324 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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