| 摘要 |
【課題】ベベル角度が異なるワークのエッジを研磨することが可能な外周研磨装置を提供する。【解決手段】ワーク（Ｗ）の表面側及び裏面側のエッジ（Ｅａ、Ｅｂ）を研磨するエッジ研磨ユニット（２Ａ、２Ｂ）が、研磨部材（１０）が取り付けられた研磨部材取付体（１１）と、該研磨部材取付体（１１）を傾動自在に支持する取付体支持部（１２）と、前記研磨部材取付体（１１）の傾斜角度を調整する取付体用角度調整機構（１３）と、前記取付体支持部（１２）を揺動直線に沿って揺動自在に支持する揺動支持ベース（１５）と、該揺動支持ベース（１５）を傾動自在に支持するベース支持部（１７）と、前記揺動支持ベース（１５）の傾斜角度を前記ワーク（Ｗ）のエッジ（Ｅｂ）と平行をなすように調整するベース用角度調整機構（１８）と、前記ベース支持部（１７）を垂直方向及び水平方向に位置補正可能に支持する基台部（１９）とを有する。 |
