| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen optischen Manipulator (MAN), umfassend: ein plattenförmiges optisches Element (OE), insbesondere aus Quarzglas, sowie eine Stelleinrichtung (DR) zur reversiblen Veränderung der Oberflächenform (SF) des optischen Elements (OE), wobei die Stelleinrichtung (DR) eine Mehrzahl von Aktuatoren (AK) zur mechanischen Einwirkung auf das optische Element (OE) an einer Mehrzahl von Kontaktflächen aufweist. Das plattenförmige optische Element (OE) ist zumindest an Einwirkungsbereichen im Bereich der Kontaktflächen der Aktuatoren (AK) auf eine Druckspannung von mehr als 1 MPa, bevorzugt von mehr als 100 MPa, besonders bevorzugt von mehr als 500 MPa vorgespannt. Die Erfindung betrifft auch ein Projektionsobjektiv mit mindestens einem solchen optischen Manipulator (MAN), eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem solchen Projektionsobjektiv sowie ein Verfahren zum Herstellen eines solchen optischen Manipulators (MAN).</p> |
