摘要 |
<p>Lichtsondenmikroskop mit: einer Sonde (11), die in der Lage ist, ein in einem Spitzenabschnitt lokal existierendes Lichtfeld zu erzeugen; einer Abstandskontrolleinrichtung (12), die den Abstand zwischen der Spitze der Sonde (11) und einer Probe (21) auf einen benachbarten Abstand einstellt; einer Auslenkeinrichtung (13) und einer Steuerungseinrichtung (14); einer Abtasteinrichtung (15), welche eine Probenoberfläche durch die Sonde (11) zweidimensional abtastet; einer Lichtquelle (16), die das lokal existierende Lichtfeld erzeugt; einem konvergierenden optischen System (17), das ein von der einer Lichtquelle (16), die das lokal existierende Lichtfeld erzeugt; und einer Datenerfassungseinrichtung (18), in der ein zweidimensionales Bild von der Probenoberfläche in Echtzeit von einem zweidimensionalen Bildsensor (19) erhalten und ein zweidimensionales Lichtbild gleichzeitig mit dem Bild der Oberflächenstruktur von der Datenerfassungseinrichtung (18) erhalten wird, indem die Signalstärke einer einstellbaren Detektionszone im zweidimensionalen Bild von der Probenfläche durch eine Bildsignalverarbeitungseinrichtung (20) erhalten wird.</p> |