发明名称 Lichtsondenmikroskop
摘要 <p>Lichtsondenmikroskop mit: einer Sonde (11), die in der Lage ist, ein in einem Spitzenabschnitt lokal existierendes Lichtfeld zu erzeugen; einer Abstandskontrolleinrichtung (12), die den Abstand zwischen der Spitze der Sonde (11) und einer Probe (21) auf einen benachbarten Abstand einstellt; einer Auslenkeinrichtung (13) und einer Steuerungseinrichtung (14); einer Abtasteinrichtung (15), welche eine Probenoberfläche durch die Sonde (11) zweidimensional abtastet; einer Lichtquelle (16), die das lokal existierende Lichtfeld erzeugt; einem konvergierenden optischen System (17), das ein von der einer Lichtquelle (16), die das lokal existierende Lichtfeld erzeugt; und einer Datenerfassungseinrichtung (18), in der ein zweidimensionales Bild von der Probenoberfläche in Echtzeit von einem zweidimensionalen Bildsensor (19) erhalten und ein zweidimensionales Lichtbild gleichzeitig mit dem Bild der Oberflächenstruktur von der Datenerfassungseinrichtung (18) erhalten wird, indem die Signalstärke einer einstellbaren Detektionszone im zweidimensionalen Bild von der Probenfläche durch eine Bildsignalverarbeitungseinrichtung (20) erhalten wird.</p>
申请公布号 DE10200264(B4) 申请公布日期 2016.01.07
申请号 DE2002100264 申请日期 2002.01.07
申请人 HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION 发明人 MURAMATSU, HIROSHI
分类号 G01B11/30;G02B21/00;G01B11/24;G01Q30/04;G01Q60/18;G01Q60/22 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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