Vorrichtung zur Überprüfung mindestens einer Eigenschaft eines Bonders

摘要

Es wird eine Vorrichtung (10) zur Überprüfung mindestens einer Eigenschaft eines Bonders (12) mit einem Ultraschallwandler (14) und einem Bondkeil (16) vorgeschlagen. Die Vorrichtung (10) weist eine erste Messvorrichtung (18) zur Erfassung mindestens einer Schwingungseigenschaft eines von dem Ultraschallwandler (14) ausgesendeten Ultraschalls auf. Die Vorrichtung (10) weist eine zweite Messvorrichtung (20) zur Erfassung einer von dem Bondkeil (16) auf eine Bondoberfläche (22) aufgebrachten Kraft auf.