| 摘要 |
ダイを粘着シートから剥離する際における、ダイの破損を防止することができるダイ剥離装置を提供する。ダイが貼り付けられた粘着シートを保持する保持テーブル２０と、保持テーブル２０で保持されている粘着シートの下面を、上端に形成された吸引面３２ａにおいて吸引する吸引ノズル３２と、吸引面３２ａから上方に突出可能に吸引ノズル３２に装着され、吸引面３２ａにおいて吸引されている粘着シート下面を押し上げて、ダイを粘着シートから剥離させるピン３３と、吸引面３２ａにおける吸引負圧を調整する調圧弁８０と、を有する。 |
