基板处理系统

摘要

一种基板处理系统，具有基板处理装置、与装载台之间交接容纳器的自动物料搬运系统、主计算机；基板处理装置具有基板处理单元、装载台、内部缓冲部，主计算机与基板处理装置及自动物料搬运系统进行通信，根据基板处理装置的状况来指示自动物料搬运系统搬运容纳器；基板处理装置具有自动物料搬运系统对应控制部，在装载台因一个容纳器而处于被使用中的情况下，当应该与该装载台之间交接其它的容纳器的自动物料搬运系统的移动装置到来时，自动物料搬运系统对应控制部不通知不能够接受容纳器，直到一个容纳器的使用结束。

主权项

一种基板处理系统，用于处理基板，其特征在于，具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机；其中，所述基板处理装置具有：基板处理单元，其对基板进行规定的处理，装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，并且在所述装载台与所述基板处理单元之间交接容纳器，内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，并且在该内部缓冲部与所述基板处理单元之间交接基板，在该内部缓冲部与所述装载台之间交接容纳器，且在交接时暂时容置容纳器；所述自动物料搬运系统与所述装载台之间交接容纳器；所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器；所述基板处理装置具有自动物料搬运系统对应控制部，在所述装载台因一个容纳器而处于被使用中并处于不能接受其他的容纳器的状态的情况下，当自动物料搬运系统的移动装置保持其他的容纳器到来以向该装载台搬入时，所述自动物料搬运系统对应控制部不向所述自动物料搬运系统通知不能够搬入而使所述移动装置待机，直到所述一个容纳器对该装载台的使用结束。