发明名称 显示装置用基板及其制造方法、显示装置
摘要 薄膜晶体管基板(20a)包括:绝缘基板(10a);设置在绝缘基板(10a)上、具有沟道区域(C)的半导体层(13a);和设置在沟道区域(C)的沟道保护层(25)。沟道保护层(25)由第一绝缘膜和第二绝缘膜交替地叠层而得的叠层膜形成,在设第一绝缘膜的折射率为Ra、第二绝缘膜的折射率为Rb的情况下,Rb/Ra≥1.3的关系成立。
申请公布号 CN103210494B 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201180054303.6 申请日期 2011.11.02
申请人 夏普株式会社 发明人 国吉督章
分类号 H01L29/786(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种显示装置用基板,其特征在于,包括:绝缘基板;设置在所述绝缘基板上的栅极电极;以覆盖所述栅极电极的方式设置的栅极绝缘膜;在所述栅极绝缘膜上以与所述栅极电极重叠的方式设置为岛状的具有沟道区域的半导体层;和设置在所述沟道区域、由绝缘性材料形成的沟道保护层,在所述沟道保护层的与所述半导体层一侧相反的一侧的表面,形成有包括凹部和凸部的微细的凹凸构造,所述凹凸构造的相邻的所述凸部间或相邻的所述凹部间的距离为380nm以下。
地址 日本大阪府