发明名称 |
环境测定装置以及环境测定方法 |
摘要 |
本发明的目的在于提供除去附着于QCM传感器的颗粒所引起的影响,决定QCM传感器的电极的腐蚀所引起的质量增加量的环境测定装置。环境测定装置(1)具有:具备由腐蚀性金属形成的电极(12)的测定用QCM传感器(10)、具有由耐腐蚀性金属形成的电极(22)的参照用QCM传感器(20)、测定用振荡电路(15)、参照用振荡电路(25)、频率计数器(31)、湿度传感器(51)、控制部(40)以及存储部(41)。存储部(41)将与测定用QCM传感器(10)的频率对应的测定用计数信号、与参照用QCM传感器(20)的频率对应的参照用计数信号以及湿度信号与测定时刻相关联地存储。控制部(40)使用表示在规定的湿度以下测定出的频率的测定用计数信号以及参照用计数信号,决定测定用QCM传感器的电极的腐蚀所引起的质量增加量。 |
申请公布号 |
CN105229444A |
申请公布日期 |
2016.01.06 |
申请号 |
CN201380076759.1 |
申请日期 |
2013.05.24 |
申请人 |
富士通株式会社 |
发明人 |
高须良三 |
分类号 |
G01N5/02(2006.01)I;G01N17/04(2006.01)I |
主分类号 |
G01N5/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
舒艳君;李洋 |
主权项 |
一种环境测定装置,其特征在于,具有:测定用QCM传感器,其具有振子和在上述振子的表面由腐蚀性金属形成的电极;参照用QCM传感器,其具有振子和在上述振子的表面由耐腐蚀性金属形成的电极;测定用振荡电路,其使上述测定用QCM传感器振动,并且发送具有与上述测定用QCM传感器的振动频率对应的频率的测定用频率信号;参照用振荡电路,其使上述参照用QCM传感器振动,并且发送具有与上述参照用QCM传感器的振动频率对应的频率的参照用频率信号;频率计数器,其与上述测定用振荡电路以及上述参照用振荡电路连接,对上述测定用频率信号以及上述参照用频率信号各自的频率进行计数,并发送表示上述计数出的计数数的测定用计数信号以及参照用计数信号;湿度传感器,其检测大气中的湿度,并发送表示检测出的湿度的湿度信号;存储部,其将上述测定用计数信号、上述参照用计数信号以及上述湿度信号与测定时刻相关联地存储;以及控制部,其使用表示在规定的湿度以下测定出的频率的测定用计数信号以及参照用计数信号,决定上述测定用QCM传感器的电极的腐蚀所引起的质量增加量。 |
地址 |
日本神奈川县 |