使用机器视觉测量窄下凹特征部的方法

摘要

一工件(26)的侧壁(32及36)之间的深窄间隙(20)可经由模块(42)予以测量，该模块(42)包含成像器(70)且将来自光源(76)的聚焦方向照明提供至该间隙(20)中。成像器(70)可使用具有沿着列及行的一像素数组的相机。通过平行于间隙(20)的长轴(46)的沿着列或行的像素撷取的灰阶可经分析以利于判定该间隙(20)的该等边缘(34与38)之间的间隔。该工件(26)与该成像器(76)之间沿着该长轴(46)的相对移动也可利于判定该等间隙(20)的该等边缘(34与38)之间的间隔。

主权项

一种沿着相邻于工件的第一表面的第一边缘的特征部的第一短轴测量第一尺寸的方法，其中所述第一表面具有第一平面，其中所述特征部包含沿着横向于所述第一短轴的长轴的长度，其中所述特征部包含沿着横向于所述长轴及所述第一短轴的第二短轴的第二尺寸，其中所述第二尺寸从所述第一表面延伸至所述特征部的下凹表面，其中所述特征部的所述下凹表面具有下凹平面，所述方法包括：使用具有检查区的视域的成像器；将所述工件定位在检查位置使得所述特征部的所述第一短轴位于所述成像器的所述视域内；将方向光传播至所述特征部上，使得进入所述成像器的所述视域的所述方向光的大部分传播至所述下凹平面与所述第一平面之间的所述视域中；用所述成像器撷取从所述特征部的所述下凹表面反射的光的影像；及分析所述特征部的所述下凹表面与所述工件的所述表面之间的亮度差及/或色差以利于判定所述特征部的所述第一尺寸的测量。