发明名称 ETCHING SOLUTION COMPOSITION FOR METAL LAYER AND MANUFACTURING METHOD OF AN ARRAY SUBSTRATE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY USING THE SAME
摘要 The present invention provides an etching solution composition comprising: a metal film oxidizing agent; a crown ether compound described as a chemical formula 1; and water.
申请公布号 KR20160001295(A) 申请公布日期 2016.01.06
申请号 KR20140079556 申请日期 2014.06.27
申请人 DONGWOO FINE-CHEM CO., LTD. 发明人 CHOI, HAN YOUNG;KIM, HYOUN WOO;JEON, HYUN SU;CHO, SEONG BAE
分类号 C23F1/14;C09K13/04;C23F1/18;H01L21/306 主分类号 C23F1/14
代理机构 代理人
主权项
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