发明名称 一种通用失配模型及其提取方法
摘要 本发明公开了一种通用失配模型及其提取方法,该方法包括如下步骤:步骤一,设计失配模型的器件结构并加工生产;步骤二,测量按失配模型生产的器件的数据,得到表征器件性能的参数;步骤三,在固定某一参数下建立及修改该失配模型的函数;步骤四,调整失配函数的系数进行拟合;步骤五,判断仿真结果与数据拟合是否OK。如否,则返回步骤四,如是,则进入步骤六;步骤六,进行模型检验;本发明的失配模型能和实际的器件测量曲线拟合更为准确,可以很大程度上提高器件失配模型精度。
申请公布号 CN105226054A 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201510623395.5 申请日期 2015.09.27
申请人 上海华力微电子有限公司 发明人 张瑜;商干兵;俞柳江;程嘉
分类号 H01L27/02(2006.01)I;G06F17/50(2006.01)I 主分类号 H01L27/02(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 智云
主权项 一种通用失配模型,其特征在于:在原有失配模型中加入与器件沟道长、沟道宽分别相关的函数公式,使所述通用失配模型与实际的器件测量曲线拟合更为准确。
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