发明名称 |
一种通用失配模型及其提取方法 |
摘要 |
本发明公开了一种通用失配模型及其提取方法,该方法包括如下步骤:步骤一,设计失配模型的器件结构并加工生产;步骤二,测量按失配模型生产的器件的数据,得到表征器件性能的参数;步骤三,在固定某一参数下建立及修改该失配模型的函数;步骤四,调整失配函数的系数进行拟合;步骤五,判断仿真结果与数据拟合是否OK。如否,则返回步骤四,如是,则进入步骤六;步骤六,进行模型检验;本发明的失配模型能和实际的器件测量曲线拟合更为准确,可以很大程度上提高器件失配模型精度。 |
申请公布号 |
CN105226054A |
申请公布日期 |
2016.01.06 |
申请号 |
CN201510623395.5 |
申请日期 |
2015.09.27 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
张瑜;商干兵;俞柳江;程嘉 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01)I;G06F17/50(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
智云 |
主权项 |
一种通用失配模型,其特征在于:在原有失配模型中加入与器件沟道长、沟道宽分别相关的函数公式,使所述通用失配模型与实际的器件测量曲线拟合更为准确。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 |