一种应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪

摘要

本实用新型公开了一种应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪，包括监测仪探头盒体，在监测仪探头盒体中设有圆柱状的分光片腔，在分光片腔上方设有上光感探测器，在分光片腔两侧分别上下交错设有左光感探测器和右光感探测器，各光感探测器与监测仪探头盒体分光片腔之间均设有进出光孔，对应左光感探测器和右光感探测器的进出光孔的监测仪探头盒体分光片腔中分别设有135°二向色滤光片和45°二向色滤光片。通过该装置能够同时探测三个波长的红外辐射，结合薄膜干涉模型，建立三个方程。联立三个方程，通过比值法消掉受反应物沉积影响而变化的系数，实现外延片表面温度与外延层厚度的同时在线监测，且不需要对有效探测孔径进行修正。

主权项

一种应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪，其特征在于：包括安装在MOCVD反应室上方的监测仪探头盒体，在监测仪探头盒体中设有圆柱状的分光片腔，在分光片腔上方设有上光感探测器，在分光片腔两侧分别上下交错设有左光感探测器和右光感探测器，各光感探测器与监测仪探头盒体分光片腔之间均设有进出光孔，对应左光感探测器和右光感探测器的进出光孔的监测仪探头盒体分光片腔中分别设有135°二向色滤光片和45°二向色滤光片。