用于平板表面质量的检测系统

摘要

本实用新型公开了一种用于平板表面质量的检测系统，其包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测平板对应于微透镜阵列的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本实用新型将微透镜阵列作为并行光色散器件，所产生的色散光点阵列可同时对待测平板表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的运动获得待测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。

主权项

用于平板表面质量的检测系统，其特征在于：包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测平板对应于微透镜阵列的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。