腔长缩小的环形腔准分子激光器

摘要

本实用新型公开了一种腔长缩小的环形腔准分子激光器，主振荡腔借助线宽压窄模块产生小能量窄线宽激光光脉冲作为种子光，该种子光经过主振荡腔波前工程箱折射后，通过所述分束系统进入所述功率放大腔，分束系统、第一高反镜、第二高反镜和第三高反镜组成四边形的环形光路，功率放大腔具有第一布儒斯特窗口对和第二布儒斯特窗口对，第一布儒斯特窗口对与该功率放大腔的放电电极同处于所述环形光路的第一光路，第二布儒斯特窗口对处于平行于所述第一放大光路的所述环形光路的第二光路。本实用新型缩短了环形腔结构的准分子激光系统的环形腔腔长，增加了放大次数，实现了较传统结构更深的增益饱和放大，改善了准分子激光系统输出特性。

主权项

一种准分子激光器，包括主振荡腔(MO)、功率放大腔(PA)、分束系统(Splitter)、第一高反镜(HR1)、第二高反镜(HR2)和第三高反镜(HR3)，所述主振荡腔(MO)用于产生种子光，该种子光通过所述分束系统(Splitter)进入所述功率放大腔(PA)，所述分束系统(Splitter)、第一高反镜(HR1)、第二高反镜(HR2)和第三高反镜(HR3)组成四边形的环形光路，其特征在于：所述功率放大腔(PA)具有第一布儒斯特窗口对(B1、B1’)和第二布儒斯特窗口对(B2、B2’)，所述第一布儒斯特窗口对(B1、B1’)与该功率放大腔(PA)的放电电极同处于所述环形光路的第一光路，所述第二布儒斯特窗口对(B2、B2’)处于平行于所述第一放大光路的所述环形光路的第二光路。