发明名称 双气体传感器结构及测量方法
摘要 本发明涉及一种传感器结构及方法。该传感器结构包括第一传感器(1),其具有对环境湿度敏感的感测元件(13)。根据本发明,传感器结构还包括第二传感器(2),其具有对湿度敏感的感测元件(13),其中第二传感器(2)包括设置在该第二传感器(2)上的可催化渗透层(16),其使得所述可催化渗透层介于第二传感器(2)的感测元件(13)与环境之间。
申请公布号 CN105229463A 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201480028468.X 申请日期 2014.05.27
申请人 维萨拉公司 发明人 韦利·佩卡·维坦恩;凯萨·雷姆斯;尤卡·利帕宁
分类号 G01N33/00(2006.01)I;G01N27/22(2006.01)I;G01N27/12(2006.01)I 主分类号 G01N33/00(2006.01)I
代理机构 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 代理人 吴大建;刘华联
主权项 一种传感器结构,‑包括第一传感器(1),其具有对环境湿度敏感的感测元件(13),其特征在于,‑该结构还包括第二传感器(2),其具有对湿度敏感的感测元件(13),所述第二传感器包括设置在所述第二传感器(2)上的可催化渗透层(16),使得所述可催化渗透层介于所述第二传感器(2)的感测元件(13)与环境之间。
地址 芬兰赫尔辛基