发明名称 半导体结构及其制造方法
摘要 本发明公开了一种半导体结构及其制造方法。半导体结构包括一第一电极层、一第二电极层与一介电层。介电层配置在第一电极层与第二电极层之间。第二电极层的宽度是往远离介电层的方向变大。
申请公布号 CN105226061A 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201410254302.1 申请日期 2014.06.10
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 徐子轩;陈威臣;吕函庭
分类号 H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I 主分类号 H01L27/115(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 任岩
主权项 一种半导体结构,包括:一第一电极层;一第二电极层;以及一介电层,配置在该第一电极层与该第二电极层之间,其中该第二电极层的宽度是往远离该介电层的方向变大。
地址 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号