一种基板卡匣

摘要

本实用新型公开了一种基板卡匣，以解决现有技术中不通过计算机系统操作机械手对基板卡匣进行搬运或取放时，可能使已经放入基板卡匣内的基板出现碰撞、破碎的现象的问题。所述基板卡匣，包括多个用于承载基板的承载层，每个所述承载层内设置有感应元件，所述基板卡匣外部设置有与各个所述感应元件一一对应的警示元件；所述感应元件用于感应所述承载层内是否放置有基板；所述警示元件用于在所述感应元件感应到所述承载层内承载有基板时，发出警示信号。

主权项

一种基板卡匣，包括多个用于承载基板的承载层，其特征在于，每个所述承载层内设置有感应元件，所述基板卡匣外部设置有与各个所述感应元件一一对应的警示元件；所述感应元件用于感应所述承载层内是否放置有基板；所述警示元件用于在所述感应元件感应到所述承载层内承载有基板时，发出警示信号。